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择要：真空泵涂敷技术性是一种新鮮的原材料生成与军用的新技术应用，是外型工程设计行业的焦虑不安构成部分。文中详尽的讲解了在真空泵涂敷技术性中广泛运用的聚对二甲苯涂敷技术性的基本原理、特性及其运用，简略的详细介绍了聚对二甲苯涂敷技术性的加工工艺全过程。
关键字：三防；真空泵涂敷；聚对二甲苯；三防技术性介绍
大家都知道，优异的三防特性是军用电子设备特性牢固的焦虑要素。现阶段在军用电子设备上关键应用的是手工制作喷漆、机械设备预浸涂敷、机械设备积极涂覆。但以上技术性都存有比较大瑕玷：手工制作涂装工艺控制不了，环境污染比较大，无始以来焦虑不安；机械设备预浸涂敷膜层薄厚不可以恰当操纵，无始以来焦虑不安；机械设备积极涂覆成本费非常高，针对高频电路没法应用，不可以恰当操纵匀称度。
根据以上原因缘由，一些新的三防涂敷技术性应时而生，在其中真空泵涂敷技术性是一种新鮮的原材料生成与生产加工的新技术应用。真空泵涂敷技术性是行驶物理学、有机化学方式将固态外型涂敷一层尤其特性的涂敷，进而使固态外型具备抗磨损、耐热、抗腐蚀、抗氧化性、防电磁辐射、导电性、导磁、绝缘层和装饰设计等许多好于固态原材料自身的优异特性，做到发展产品品质、拓宽商品使用寿命、节约资源和得到显著技术性经济收益的功效。因而真空泵涂敷技术性被称作极具发展前景的焦虑不安技术性之一，并已在高新技术产业发展的发展趋势中显出诱惑的行业前景。
2、聚对二甲苯（Parylene）涂敷技术性基本原理、特性
现阶段真空泵涂覆技术性中运用最普遍的是聚对二甲苯技术性，聚对二甲苯技术性是一种敷形的对二甲苯高聚物固态镀层原材料，聚对二甲苯真空泵涂覆全过程是在分子结构情况下实现的，固体的化学物质在真空泵情况下被气化，气化的汽体再开展分子结构化，二聚物在高溫溶解区，溶解为2个二价基单聚物。单聚物分子结构进到涂覆机器设备的堆积仓，在仓内的每个外型上重新聚合发展链的聚合物。随后在堆积腔中开展堆积涂覆。全部涂覆全过程中，确保气化分子结构匀称同样地涂覆到构件的外型上。
聚对二甲苯涂覆技术性的特性如下所示：
⑴匀称的无针眼的涂覆（μm级）——没有颜色、全透明、无内应力；
⑵很好的电气设备特性——相对介电常数低、无耗、绝缘层抗压强度高；
⑶很好的珍惜特性——抗体内湿气、抗黄曲霉菌、抗化学变化、耐磨擦；
⑷出色的溫度特性——高溫达350度(真空泵中)、超低温达零下200度；⑸环境保护零污染。
聚对二甲苯膜在常温下维持牢固,不举荐户外，长期裸露在太阳底下应用。
3、聚对二甲苯涂敷技术性的现状分析
通过聚对二甲苯涂敷的军用商品具备优异的电气设备特性，电气设备特点表如表一所显示。
就涂敷薄厚来讲，聚对二甲苯通常能做出让人惊讶的15μm，这也是其他涂敷原材料无法相比的，但在如许的薄厚下，聚对二甲苯能承担3500V的击穿电压。
4、聚对二甲苯的关键运用
聚对二甲苯真空泵涂敷技术性在军用商品中运用极其普遍，其关键运用如下所示所显示：
⑴机载雷达：发展安全防护特性。
⑵相控阵雷达：用以铁氧体构件外型安全防护。
⑶航空航天及核元器件：结构加固，不必要物固定不动。
⑷火控系统及制导技术：MEMS的电缆护套。
⑸军工用航空连接器：发展在高处的阻燃性能。
⑹性能卓越炸药：可塑性珍惜层。
⑺通信机自动调谐电磁线圈：耐热抗氧化层。
⑻武器装备的长期性储存及发展免维护保养特性。
5、聚对二甲苯涂敷加工工艺及去涂敷加工工艺详细介绍
现阶段关键应用Parylene涂敷生产流程如下图一所显示，其依据有没有结合性推动安装（AP）分成两大类。从工艺性能看来，无AP安装的加工工艺比有AP的错综复杂的多。自然由于军用商品的多元性，对于每一类商品都应该有详尽的涂敷加工工艺。
由于聚对二甲苯的物理性能格外优异，应用常用的方式没办法除去镀层，现阶段关键应用的镀层除去方式有四种：
⑴SMT除去：非常薄的聚对二甲苯镀层可以行驶通常的暖风外型封装工具和技术性开展维修。解决用对流传热的方法，将有缺陷的构件加温到流回溫度（250℃）上下坏。
⑵激光器除去：行驶特高频（紫外光）激光器辐射源加温聚对二甲苯塑料薄膜，在底端加不大的热就可以使镀层瞬间挥发。
⑶热除去：应用加温专用工具，对焊层四周的聚对二甲苯镀层开展加温变软，随后用其他非金属材料专用工具来往往来除镀层。
⑷机械设备打磨抛光除去：当采用机械设备专用工具必需有选择除去小一部分引脚四周或凹痕位置的聚对二甲苯镀层时，机械设备打磨抛光的形式就格外合适。打磨抛光原材料包含干躁的碳酸氢纳或是邃密碾磨的核桃皮粉末状，打磨抛光颗粒物的直徑大概在25um，碳酸氢纳非常容易自来水清理，而核桃仁粉末状适用贵金属涂层周边的解决。
⑸低温等离子离子注入：聚对二甲苯镀层可以在低温等离子离子注入箱体里从电路板上有选择给予除去，这类方式比较慢，而且不适感用来对溫度敏感性的线路板，电路板上多余除去的镀层可以用胶布或塑胶包庇。新式的等离子系，比如微波加热顺水低温等离子刻蚀机，可使线路板坐落于活力等离子范畴以外，并具体指导氧化物抵达期待的除去部位。
6、结果
尽管聚对二甲苯有镀层不容易去除、产品成本较高瑕玷，但由于聚对二甲苯有优异的电气设备、物理学和物理性能，伴随着镀层除去技术性的修改、产品成本的减少，聚对二甲苯涂敷技术性必定会取代传统的的三防涂敷技术性变成三防涂敷技术性的流行。
[论文参考文献]
[1]《电子设备三防技术手册》.电子器件科学院出版发行.1994版.
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